功率器件静态参数测试系统

ST-SP3020
用于测试 IGBTs,MOSFETs, Diode,静态直流参数
3000V/2000A

♦产品简述
      ST-SPX系列产品是主要针对半导体功率器件的静态参数测试而开发设计。通过DUT适配器的转换，可实现对各种封装形式的 IGBTs，MOSFETs，DIODEs 等半导体器件的静态电参数测试，包括器件、模块以及DBC衬板和晶圆。
      设备融入了自动化及智能化的设计理念及功能，支持批量上下料并进行全自动测试。用于规模化量产可节省人力并提高测试产能，适合产线量测以及器件研发设计阶段的实验室测试，设备由主控计算机操控，测试数据自动上传以及保存。测试能力包含输出特性、转移特性、击穿特性、漏电流、阈值电压、二极管压降等。产品功能及输出功率进行了模块化设计，满足用户潜在的后期需求，最高测试电压电流可扩展至10KV/10KA，变温测试支持常温到200℃。

♦测试能力


♦产品特点
 产品以2000A为一个电流模块,以1000V为一个电压模块，可升级到10KA/10KV. 
 可以连接探针台做 wafer / chip 测试，也可以安装夹具及适配器做模块测试
 针对不同结构的封装外观，通过更换 DUT适配器即可
 可进行室温~200℃变温测试,也可实现子单元测试功能
 测试软件具有实验模式和生产模式,测试数据可存储为Excel文件
 栅极电阻可任意调整
 系统测试性能稳定,适合大规模生产测试应用（24hr 工作）
 支持半自动和全自动测试
 采用品牌工控机，具有抗电磁干扰能力强，排风量大等特点
 安全稳定（PLC 对设备的工作状态进行全程实时监控并与硬件进行互锁）
 自动化，单机测试时只需手动放置DUT，也可连接机械选件实现自动化测试线
 智能化，通过主控计算机进行操控及数据编辑，测试结果自动保存及上传指定局域网
 安全性，防爆，防触电，防烫伤，短路保护等多重保护措施，确保操作人员、设备、数据及样品安全。