低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵,又称冷凝泵。
低温泵可以获得抽气速率 大、 压力 低的清洁真空,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
立式结构:适于埋装在地下,不会受电动机热风、空气温度和日照等影响, 易于保冷;能降低泵的吸上高度,增加灌注头,提高有 效汽蚀余量;立式结构还有利于排气,使悬挂轴有足够高度便于布置轴封装置,故该泵也称为立式筒型泵。
对称结构:泵的总体结构力求对称布置,以便在冷态下能均匀变形。冷头一般采用二级机构, 一 级达到 80K 二级达到温度 10K。
双层壳体:为了保冷方便和有利于输送危险介质,通常都制成双层壳体,内壳里面承受泵压,内外壳之间是吸入压力,这样可适当降低内壳的强度要求。外壳需做成真空夹层,已达到隔热效果。
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