又称硅氟氢酸。无水物是无色气体。不稳定。保存于蜡制或塑料制等容器中。浓溶液冷却时析出无色二水物的晶体，熔点19℃。氟硅酸有消毒性能。用于制氟硅酸盐和冰晶石，并用于电镀、啤酒消毒、木材防腐等。由二氧化硅溶解于氢氟酸中或混和石英粉、氟化钙和浓硫酸后加热而制得。也可从磷肥厂中分解磷矿时逸出的四氟化硅气体用水吸收而得。

1、是制取氟硅酸钠、钾、铵、镁、铜、钡、铅和其他氟硅酸盐及四氟化硅的基本原料。用于金属电镀、木材防腐、啤酒消毒、酿造工业设备消毒(1%～2%H2SiF6)和铅的电解精制等。还用作媒染剂和金属表面处理剂。

2、用于测定钡。分离钡和锶。铅、锡的电解精制。氟硅酸盐的制备。设备消毒。

3、氟硅酸也用于某些电镀的添加剂，氟硅酸或盐类用于镀铬添加，可与硫酸根有相似的作用，并可提高电流效率到20%左右，光亮度提高，光亮电流密度范围加宽；氟硅酸对镀铬层有活化作用，断电时间短，继续复镀，结合力几乎不受影响，所以在滚镀铬中氟硅酸为必要的添加成分；氟硅酸可降低镀铬的电流密度，提高镀层覆盖能力，但增加了镀液的腐蚀性。

3.制取氟硅酸盐及四氟化硅的原料，也应用于金属电镀、木材防腐、啤酒消毒等