电容式差压传感器的结构如图所示。将左右对称的不锈钢基座2、3的外侧加工成环状波纹沟槽,饼焊上波纹隔离膜片1、4。基座内侧有玻璃层5,基座和玻璃层中央都有孔。玻璃层内表面磨成凹球面,球面边缘镀以金属膜6,此金属膜层有导线通向外部,为电容的左右定极板。左右对称的上述结构中央夹入并焊接弹性平膜片,即测量膜片7,为电容的中央动极板。测量膜片左右空间被分割成两个室,固有粮食结构之称。
在测量膜片的左右两室中充满硅油,当左右隔离膜片分别承受高压pH和低压pL时,硅油的不可压缩性和流动性便能将差压Δp=pH-pL传递到测量膜片的左右面上。因为测量膜片在焊接前加有预张力,所以当差压Δp=0时十分平整,使得定极板左右两电容的容量完全相等,即CH=CL,电容量的差值为零。在有差压作用时,测量膜片发生变形,也就是动极板向低压极板靠近,同时远离高压测定极板,使得电容CH=CL。 [1]
将左右对称的不锈钢基座2、3的外侧加工成环状波纹沟槽,饼焊上波纹隔离膜片1、4。基座内侧有玻璃层5,基座和玻璃层中央都有孔。玻璃层内表面磨成凹球 面,球面边缘镀以金属膜6,此金属膜层有导线通向外部,为电容的左右定极板。左右对称的上述结构中央夹入并焊接弹性平膜片,即测量膜片7,为电容的中央动 极板。测量膜片左右空间被分割成两个室,固有粮食结构之称。
在测量膜片的左右两室中充满硅油,当左右隔离膜片分别承受高压pH和低压pL时,硅油的不可压缩性和流动性便能将差压Δp=pH-pL传递到测量膜片的左 右面上。因为测量膜片在焊接前加有预张力,所以当差压Δp=0时十分平整,使得定极板左右两电容的容量完全相等,即CH=CL,电容量的差值为零。在有差 压作用时,测量膜片发生变形,也就是动极板向低压极板靠近,同时远离高压测定极板,使得电容CH=CL。
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