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CYG系列压阻式压力传感器

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  • 陕西 宝鸡 所在地
宝鸡秦明传感器有限公司
产品详情

该系列产品均为扩散硅压阻式压力传感器。是各方面均已非常成熟的传感器产品。它是利用压阻效应原理,采用半导体集成电路工艺及特殊工艺制成的一种用于力学量检测的传感器。其主要特点是高精度、高灵敏度、高稳定性和高可靠性。CYG101是我国设计定型的一个压阻压力传感器系列。其实测寿命已达107压力循环,平均无故障工作时间105小时以上,还可用于测量低达﹣100Kpa的负压,精度与测正压相同。CYG113量程下延至数百到数千毫米水柱,具有更高的灵敏度急刚高的分辨率,是低压测量的优秀选择。而CYG105、CYG115则是针对中、高压力量程设计的,具有优良的性价比和动态性能。

压阻式传感器是用于这方面的较理想的传感器。例如,用于测量直升飞机机翼的气流压力分布,测试发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的抖动等。在飞机喷气发动机中心压力的测量中,使用专门设计的硅压力传感器,其工作温度达500℃以上。在波音客机的大气数据测量系统中采用了精度高达0.05%的配套硅压力传感器。在尺寸缩小的风洞模型试验中,压阻式传感器能密集安装在风洞进口处和发动机进气管道模型中。单个传感器直径仅2.36毫米,固有频率高达300千赫,非线性和滞后均为全量程的±0.22%。在生物医学方面,压阻式传感器也是理想的检测工具。已制成扩散硅膜薄到10微米,外径仅0.5毫米的注射针型压阻式压力传感器和能测量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球内压力的传感器。图3是一种用于测量脑压的传感器的结构图。压阻式传感器还有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量枪炮膛内压力、发射冲击波等兵器方面的测量。此外,在油井压力测量、随钻测向和测位地下密封电缆故障点的检测以及流量和液位测量等方面都广泛应用压阻式传感器。随着微电子技术和计算机的进一步发展,压阻式传感器的应用还将迅速发展


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