Summit450/600/800参数介绍: |
XY 精度: E2=(2.0 4L/1000)um (E2=(1.5 5L/1000)um 高分辨率刻度尺) Z 线性精度: E1=(1.8 5L/1000)um (E1=(1.4 5L/1000)um TTL激光及可选5X镜头)
英制单位 | 公制单位 | ||||||
测量范围(Summit 450) | 18" X18"X6" | 450X450x150mm | |||||
测量范围(Summit 600) | 18" X24"X6" | 450X600x150mm | |||||
测量范围(Summit 800) | 30" X31"X6" | 760X800x150mm | |||||
尺寸(Summit 450/600) | 40" X65X76" | 1016X1650X1930mm | |||||
尺寸(Summit 800) | 56" X74.2X76" | 1422X1884X1930mm | |||||
负载能力 | 50kg | ||||||
分辨率 | 0.1um (可选 0.04umX-Y) | ||||||
光学 | 双重放大 (物镜X) | ||||||
低 | 0.8 | 1.0 | 2.5 | 5.0 | 10.0 | 25.0 | |
高 | 3.2 | 4.0 | 10.0 | 20.0 | 40.0 | 100.0 | |
标准物镜 | 2.5X | ||||||
可选物镜 | 0.8X,1.0X,5X,10X | ||||||
照明 | LED 背光,LED 同轴面光 | ||||||
可选特征 | 多色可编程环形光源 | ||||||
Ronchi 栅格自动聚焦 | |||||||
TTL激光 | |||||||
光谱探针 | |||||||
旋转工作台 | |||||||
兆像素数码相机 | |||||||
高速测量和连续图像获取 |
特征: -测量范围:450 x 450 x 150 mm或450 x 600 x150 mm - 50公斤承载力 -亚微米的光栅尺分辨率 -平台移动速度X-Y:200 mm/秒; Z:100 mm/秒 -可选的X-Y无阻力线性马达驱动,平台速度400 mm/秒 -误差映射:在XY平面非线性二维纠错 -双重放大光学系统,固定镜头,内部放大1-4倍 -可编程LED平台背光及同轴表面光照明 -可编程多色(红、蓝、绿、复合白色)环形灯(PRL)选项 - TTL激光选项,具有自动聚焦和扫描功能 -三角和共焦激光位移传感器选项 - SpectraProbeTM高分辨率彩色传感器选项 -先进的图像处理性能,快速、精确、稳健 -双通道,数字式,1.4兆像素的单色相机; 4:1的比例 -次像素精度:1/10 - 1/50 pixel -独立的Anthro Cart Operator工作站,90 x 90 x128 cm;40kg -可选配一体式可调节高度的工作站活动臂及平台,上可放置平板显示器、键盘鼠标及周边设备 -强大的测量软件和数据分析工具可供选择 -平均无故障工作时间MTBF ≥ 8,000小时Summit的应用范围包括:半导体/电子PCB板与Stencil 光罩 引线框,引线接合,柔性线路板,连接器 SMT元件贴装 锡膏/环氧数脂胶点 芯片载体和托盒 喷墨打印机墨盒数据存储磁盘介质基板 滑块和悬臂组(HGA) Wafer carriers and row bar pallets精密注塑和机加工件
模具和刀具
医疗设备
燃料喷射部件
手表组件