东莞市天测光学设备有限公司
BenchMark 450主要技术参数 |
XY 精度:E2=(2.5 5L/1000)微米
Z 精度:E1=(2.0 8L/1000)微米（ 带TTL激光和可选5倍镜头）
英制单位 |
公制单位 |
|||||||
测量范围 |
18" X18"X6" |
450X450x150毫米 |
||||||
尺寸 |
48" X45"X67" |
1210X1140X1700毫米 |
||||||
负载能力 |
65千克 |
|||||||
台面分辨率 |
0.5微米 |
|||||||
光学 |
双重放大(物镜 X) |
|||||||
低 |
0.8 |
1.0 |
2.5 |
5.0 |
10.0 |
25.0 |
||
高 |
3.2 |
4.0 |
10.0 |
20.0 |
40.0 |
100.0 |
||
标配物镜 |
1X |
|||||||
可选物镜 |
0.8X,2.5X,5X |
|||||||
照明 |
LED 背光,LED 同轴面光 |
|||||||
可选特征 |
多色可编程环形灯(PRL) |
|||||||
Ronchi 栅格自动聚焦 |
||||||||
TTL激光 |
||||||||
旋转分度工作台 |
||||||||
