东莞市天测光学设备有限公司
BenchMark250 主要技术参数 |
XY 精度:E2=(1.8 6L/1000)微米(E2=(1.0 6L/1000)微米需高分辨率光栅尺)
Z 精度:E1=(2.0 5L/1000)微米(E1=(1.2 5L/1000)微米TTL激光和5倍镜头)
英制单位 |
公制单位 |
|||||||
测量范围 |
12" X6"X6" |
300X150x150毫米 |
||||||
尺寸 |
28.3" X30.5"X38.3" |
720X775X873毫米 |
||||||
负载 |
25kg |
|||||||
台面分辨率 |
0.5um |
|||||||
光学 |
双重放大(物镜) |
|||||||
低倍 |
0.8 |
1.0 |
2.5 |
5.0 |
10.0 |
25.0 |
||
高倍 |
3.2 |
4.0 |
10.0 |
20.0 |
40.0 |
100.0 |
||
标配镜头 |
1X |
|||||||
可选镜头 |
0.8X,2.5X,5X |
|||||||
照明 |
LED 背光,LED 同轴面光 |
|||||||
可选特征 |
多色可编程环形光(PRL) |
|||||||
Ronchi 栅格自动聚焦 |
||||||||
TTL 激光 |
||||||||
旋转分度工作台 |