主要针对芯片光电集成制造，在高真空箱体自动化设备轴承及导轨上有优越低挥发特性，长寿命润滑、不燃烧的特点，并具有高宽温、耐化学品及溶剂酸碱性的特殊表现，在各种真空泵、阀门、密封圈、精密机器、光学仪器、洁净室/无尘室设备的零部件中都得到了广泛的应用。